真空泵返修,真空泵维修方案

摘要： 大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于真空泵返修的问题，于是小编就整理了1个相关介绍真空泵返修的解答，让我们一起看看吧。请问PVD磁控溅射真空镀膜需要注意哪些事项呢？...

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于真空泵返修的问题，于是小编就整理了1个相关介绍真空泵返修的解答，让我们一起看看吧。

1. 请问PVD磁控溅射真空镀膜需要注意哪些事项呢？

请问PVD磁控溅射真空镀膜需要注意哪些事项呢？

PVD的全称是物理气象沉积,即英文（Phisical Vapor Deposition)的简写形式。目前PVD主要有蒸发镀膜，磁控溅射镀膜，多弧离子镀膜，化学气相沉积等形式。PVD总的来说属于绿色环保产业，和其他行业相比，对人体有害很小，但不是没有。当然，也完全可以有效减少，甚至完全消除。

1）噪音污染：如特别是一些大的镀膜设备，机械真空泵噪音很大，可以把泵隔离在墙外；

2）光污染：离子镀膜过程中，气体电离发出强光，不宜透过观察窗久看；

3）金属污染：镀膜材料有些（如铬、铟、铝）是对人体有害的，特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染；

4）辐射：有些镀膜要用到射频电源，如功率大，需做好屏蔽处理。另外，欧洲标准在单室镀膜机门框四周嵌装金属线屏蔽辐射。

到此，以上就是小编对于真空泵返修的问题就介绍到这了，希望介绍关于真空泵返修的1点解答对大家有用。