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摘要： 大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于什么材料有利抽超高真空的问题，于是小编就整理了4个相关介绍什么材料有利抽超高真空的解答，让我们一起看看吧。超高真空插板阀的原理与...

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于什么材料有利抽超高真空的问题，于是小编就整理了4个相关介绍什么材料有利抽超高真空的解答，让我们一起看看吧。

1. 超高真空插板阀的原理与用途？
2. 超真空离子泵原理？
3. 请教EPI是什么工艺？
4. 什么真空，真空泵有什么作用？

超高真空插板阀的原理与用途？

超高真空插板阀的原理及用途：

超高真空插板阀是一种闸板与阀座始终紧密接触密封的阀门。其原理是闸板上开有一个通径大小的圆口,通过闸板启闭使得闸板上圆口跟通径做完全脱离和相吻合的动作。

广泛应用于科研、电子、机械、冶金、能源、环保、生物医药、制冷、食品等各种领域。

超高真空插板阀主要用于超高真空系统中接通或截止气流。适用的介质为洁净的空气或非腐蚀性气体；适用温度在阀门开启时，阀体允许烘烤温度小于150℃。

由于真空插板阀具有流导大，密封性能好，放气率低，体积小，结构紧凑、合理，操作方便，安装位置可任意选择等一系列优点，因此真空插板阀广泛用于中、大型高真空、超高真空装置的真空系统中。

超真空离子泵原理？

　离子泵能将真空室抽到超高真空范围内。在离子泵起动前，真空室的压强需达到中真空范围的下限(～10-2托)。通常，***用吸附泵来产生要求的中真空。离子泵一旦起动，可在无其它泵协助的情况下工作。

　　离子泵的工作原理，在2个平面阴极之间是一个蜂窝状的阳极结构。所加磁场垂直于阴极板，并平行于蜂房的轴。电子围绕磁力线作螺旋运动，使气体分子电离，电离产生的电子接着使其它气体分子电离。在碰撞过程中，电子交出能量，并逐渐向阳极移动。正离子则加速向由钛制成的负极移动。离子与钛互作用，至少发生3种抽气作用。

　　(1)离子使钛阴极材料溅射出来，它沉积并作为吸收膜，吸收活性气体(比如氮气、氧气和氢气)。

　　(2)有一些能量足够大的离子，能够埋藏在电极表面内，它们通过离子注植入被吸附。这个过程对所有类型的离子，包括稀有气体或惰性气体都是有效的。

　　(3)使用三极管离子泵来增加泵对惰性气体抽气能力是可能的，因为从阴极飞溅出的钛可将气体原子埋在靶子电极上。

请教EPI是什么工艺？

外延(Epitaxy,简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，外延层可以是同质外延层(Si/Si)，也可以是异质外延层(SiGe/Si或SiC/Si等)；同样实现外延生长也有很多方法，包括分子束外延(MBE)，超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)，常压及减压外延(ATMRPEpi)等等。

外延(Epitaxy,简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，外延层可以是同质外延层(Si/Si)，也可以是异质外延层(SiGe/Si或SiC/Si等)；同样实现外延生长也有很多方法，包括分子束外延(MBE)，超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)，常压及减压外延(ATMRPEpi)等等。

什么真空，真空泵有什么作用？

真空是指压强远小于101.325千帕（kPa）（即1大气压）的稀薄气体空间。按气体压强大小的不同，通常把真空范围划分为：低真空1×105 ～1×102Pa，中真空1×102~1×10-1Pa，高真空1×10-1～1×10-5Pa，超高真空1×10-5～1×10-9 Pa，极高真空1×10-9Pa以下。真空泵是用以抽除特定密封器内的气体，使该容器获得一定真空度的基本设备，由于现代科学技术的高度发展，真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位，可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等行业应用。

到此，以上就是小编对于什么材料有利抽超高真空的问题就介绍到这了，希望介绍关于什么材料有利抽超高真空的4点解答对大家有用。