扩散泵抽什么真空,扩散泵抽什么真空好

大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于扩散泵抽什么真空的问题，于是小编就整理了5个相关介绍扩散泵抽什么真空的解答，让我们一起看看吧。

1. 分子泵与扩散泵的关系？
2. 为什么扩散泵要预热？
3. 冷泵抽真空原理？
4. 扩散泵原理？
5. 如何提高油扩散泵的抽气速率呢？

分子泵与扩散泵的关系？

分子泵和扩散泵可以到达的真空度范围是差不多的，两个是同级的。但两个泵又各有不同的优点和缺点，所以在市场上两者是并存的。

1：分子泵体积小，耗能小，对真空室的污染比较小。但是相比扩散泵，分子泵的抽气速度比较低，维护成本比较高(精密)。

2：扩散泵可以设计为很大的抽速，购置成本比较低。但是扩散泵体积比较大，能耗高，会对真空室有很重的油污染，一般要配合液氮(氦)冷阱用(运营成本高)，不环保。按趋势来讲，高真空泵还是向分子泵方向在发展，但是由于分子泵叶片转速很高，所以对轴承有很高的要求，国内厂家生产的分子泵稳定性不是很好，国外的分子泵价格又过高，所以国内工业生产上一般还是选用扩散泵。只有在一些高端的产业像半导体产业和科研单位才会用到分子泵。

为什么扩散泵要预热？

扩散泵不是需要预热、而是需要加热，这是扩散泵的工作原理，跟处于什么工艺下进行没有关系。

扩散泵属于增压泵，单独是不可以使用的，必须串联机械泵，如旋片泵、滑阀泵等。

扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉。

扩散泵没有电机，是通过电炉加热使油蒸发，然后冷凝的一个往复运动，期间将空气通过机械泵排出，这是扩散泵的工作原理。

一边情况下我们建议：机械泵的全压强真空度达到2pa以内，开启电炉，后经过40-80分钟的加热扩散泵进行正常的工作。（加热期间真空度也在提升。开始阶段如5-10分钟时真空度可能下降）

冷泵抽真空原理？

冷泵应该指的是低温泵，它是通过冷凝表面气体来抽气的，是一种真空获得设备。

而冷井只不过是由一些冷却水管组成的蒸气捕获装置，用的最多的就是在油扩散泵上加冷井可以有效减少扩散泵的油蒸气对真空系统的影响。

从道理上来说这两个装置都是为了获得干净的真空环境，***用低温泵的效果最好。

冷泵要看用于什么工艺，主要对进入的热气进行冷却或防止泵油挥发。冷井的作用主要是对泵油进行冷却和回收，防止挥发的泵油进入真空腔体。

扩散泵原理？

扩散泵的工作原理，扩散泵是依靠真空泵内部的油沸腾向上蒸发，向上蒸发的泵油通过泵芯的反射（泵芯一般为三层结构，类似倒扣的碗），改变运动方向，向下运动。向下运动的同时会带走顶部的气体也跟着向下运动。

当气体到达底部以后，由前级泵通过扩散泵底部的排气口抽走，持续循环就起到了抽真空的效果。

如何提高油扩散泵的抽气速率呢？

，具体需要看参数， 扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度（约为200度）产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。组成结构高真空泵扩散泵主要结构有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等。性能参数通常扩散泵的性能是以极限真空、最大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

极限真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。2.最大反压强最大反压强是指扩散泵所允许的前置压强最大值。如果前级泵所产生的压强高于最大反压强，则扩散泵就不能正常工作。3.抽气速率扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。4.设置冷阱及低温挡板的原因由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子，大部分由泵壁冷凝，这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射，散射会返回被抽空间，这种现象在低温实验室中要特别注意。如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板，这样就能使返加的蒸气被冷凝下来，截止了油蒸气的返流。影响油扩散泵性能的因素如下。1、油扩散泵的返流。2、气体分子的反扩散。3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内（室温下0.Pa左右），受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。希望能帮到你。

到此，以上就是小编对于扩散泵抽什么真空的问题就介绍到这了，希望介绍关于扩散泵抽什么真空的5点解答对大家有用。