PVD-N360-1真空泵,PVD-N360-1真空泵使用说明书
摘要:
大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于PVD-N360-1真空泵的问题,于是小编就整理了1个相关介绍PVD-N360-1真空泵的解答,让我们一起看看吧。请问PVD磁控...
大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于PVD-N360-1真空泵的问题,于是小编就整理了1个相关介绍PVD-N360-1真空泵的解答,让我们一起看看吧。
请问PVD磁控溅射真空镀膜需要注意哪些事项呢?
PVD的全称是物理气象沉积,即英文(Phisical Vapor Deposition)的简写形式。目前PVD主要有蒸发镀膜,磁控溅射镀膜,多弧离子镀膜,化学气相沉积等形式。PVD总的来说属于绿色环保产业,和其他行业相比,对人体有害很小,但不是没有。当然,也完全可以有效减少,甚至完全消除。
1)噪音污染:如特别是一些大的镀膜设备,机械真空泵噪音很大,可以把泵隔离在墙外;
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2)光污染:离子镀膜过程中,气体电离发出强光,不宜透过观察窗久看;
3)金属污染:镀膜材料有些(如铬、铟、铝)是对人体有害的,特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染;
4)辐射:有些镀膜要用到射频电源,如功率大,需做好屏蔽处理。另外,欧洲标准在单室镀膜机门框四周嵌装金属线屏蔽辐射。
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到此,以上就是小编对于PVD-N360-1真空泵的问题就介绍到这了,希望介绍关于PVD-N360-1真空泵的1点解答对大家有用。
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